超精密机械滑台的装配分析

超   技术是制造行业的未来发展趋势，超   光学元器件具备的加工精度影响着超   加工机床的性能。制造企业要想提高加工机床的性能，就要注重加工机床核心部分的精度。也就是说，制造企业需要注重机械滑台的精度。在超   机械滑台中，其直线度、平面度、定位精度以及重复精度都会影响到加工精度。因此，制造企业的工作人员需要注重机械滑台的测量工作，根据测量的结果分析机械滑台的装配效果，其各项参数符合加工要求。

一般来说，超   机械滑台主要包括基座、导轨、光栅尺以及上滑台等多个部分。在超   机械滑台的装配中，较重要的装配工作是滑块组件以及导轨的装配，这两个部分的装配精度会对机械滑台的定位精度造成直接的影响。另外，基座平面具备的直线度也会对滑台的工作精度造成影响。具体而言，机械滑台的装配注意要点如下：超   机械滑台的基座包括两个平行度导轨以及滑块组件安装面，这一安装面的装配精度会对机械滑台装配完成之后的精度造成影响。如果基座平面的直线度不满足加工要求，工作人员需要根据测量所得的数据重新进行基座的研磨，以此基座具备较高的直线度，使其满足基座的装配要求。与此同时，因为基座包括两个导轨，所以工作人员需要遵循自为基准原则，分别测量两个的直线度，选择直线度相对较高的导轨作为主导轨，首   行主导轨的装配，在主导轨的基础上装配副导轨。

1、基座导轨直线度的测量

通过上述介绍可知，在进行基座的装配之前，需要测量导轨的直线度。在实际的测量工作中，工作人员需要应用的气浮测量平台，首先基座和测量平台保持平行状态，再利用开关式磁力座将马尔探头仅仅锁在测量平台的工作面，并来回移动工作台，在移动的过程中观察马尔测微仪呈现的数值，数值始终处于-100μm~+l00μm的量程内。如果发现马尔测微仪呈现的数值大于量程，需要采取相应的措施调整工作台的探针。需要注意的是，工作人员在测量的过程中，不可以使工作台的指示灯出现红色，因为红色指示灯的出现表明测量的结果无效。

在上述准备工作完成之后，工作人员需要按照如下流程进行基座直线度的测量：将基座平面按照60mm的规格进行均等分，共选取九个点测量，等距离标记的方式可以测量过程中探针可以准确地落在标记处，测量的准确性；然后再通过较小二乘法得出测量点的直线度数值。需要注意的是，工作人员要加强工作台移动速度的控制，因为工作台尽可以进行同方向的测量，不可以进行折返，移动速度的控制可以避免探针超过测量点的标记位置。在探针测量的过程中，工作人员需要在标记位置停留一段时间，   马尔测微仪呈现的数值稳定之后，再将数值记录下来，进行下一个测量点的测量。另外，工作人员在测量的过程中，需要实验室具备足够安静的环境，因为环境噪音会引起探针的震动，从而对马尔测微仪的测量结果造成影响，使得测量数据出现误差。

在经过多次测量之后，工作人员需要选择直线度相对较高的导轨作为主导轨，进行机械滑台的装配。直线度的数值由较小二乘法处理所得。该方法是应用参与误差平方和较小的原理构建理想直线，这种数据处理方法相对成熟，算法爱简单，在直线度的测量中应用广泛。具体而言，工作人员需要将记录的数据导入到ExCel中，利用散点图进行直线的拟合，并根据拟合直线计算出测量点和直线之间的距离。在多个测量点中，与直线的较大距离和较小距离之间的差值就是基座导轨直线度。

2、导轨的装配

在选出主导轨之后，工作人员需要重新调整马尔探头，通过马尔测微仪呈现的数值，调解主导轨上不同位置上螺栓应用的预紧力，如果马尔测微仪呈现的数值增加，则表示螺栓预紧力需要增加，如果相反，则表示螺栓预紧力需要降低；然后，工作人员需要再次通过均等分的方式获取主导轨的直线度，利用多次测量的数据不断调整，实现螺栓预紧力的较优化，主导轨具备较高的直线度，满足机械滑台的装配要求。因为主导轨具备的直线度会对副导轨的安装造成影响，所以工作人员需要合理调整主导轨的直线度，多次测量方法可以将主导轨直线度存在的直线误差控制在微米级，为副导轨的装配奠定良好的基础。在主导轨装配完成之后，工作人员需要自为基准原则，将马尔测微仪安装在主导轨上，根据马尔测微仪呈现数值的变化，对副导轨螺栓预紧力进行调整，从而实现副导轨直线度的提升，完成基座的装配。