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国内高精度精密平台的发展及提高生产效率

2019-03-22 11:53:25

超   运动平台自问世以来就被应用到各大,比如机械   ,设备,交通设备以及部分有关      的。近年来,很多   机构,部分企业,以及高等学府,也都逐渐加大   力度,将大量的人力物力财力投入到超   运动平台的   实验中,争取生产制造出出精度   高,   稳定的平台。

国内   平台的发展单位主要集中在   院所,和高等学府。哈尔滨工业大学目前在大力研制宏微动直线平台,具体思路是,大行程通过宏动台进行控制,要求但是精度略低,同时协同配合微动台进行小行程控制,微动台采用FPGA实现VME总线协议的解析,控制程序可以实现实现六自由度算法解祸控制算法,同时运动控制卡与霍尔传感器进行通信确定位置,较后通过   的控制算法的调试,达到   控制的目的。这种控制策略可以在精度要求的前提下,提高运动速度,进而提高加工效率目前可实现15mm的定位精度。同时清华大学也与企业合作,共同研制,其采用气浮台,减少了摩擦的干扰,提高了精度,同时该   团队还采用了双频激光干涉仪技术,目的在于分别对高低速的运动状态下进行位置反馈,目前   结果的精度可达12mm。

   机械平台作为的光学投影系统的重要组成部分,其主要功能为配合掩模台系统在曝光过程中的扫描运动,对光源,光强进行控制。这样可以使定量的光照强度进入到指定的曝光区域内,进而对硅片上的某点进行指定的曝光扫描。但是在扫描曝光的过程中,往往会出现   的光强出现在指定的曝光视场范围以外,这样就会造成相邻的的两个曝光视场部分重合,进而损失部分光强与剂量,这也是导致降低生产精度的重要因素之一。   机械平台的主要作用体现在扫描曝光过程中对光源的控制,其工作原理主要是通过   控制掩模台的位置,具体指控制曝光视场的范围,同时,在曝光过程中通过控制掩模板、硅片等进行同步曝光过程,从而减少光强照射在非目标区域,进而提高曝光效率。由此可见,高速狭缝扫描系统对光刻机的生产精度有着重要的影响,对提高其生产效率有重要作用。

   平台的运动指标,主要包括:X方向运动指标,Y方向的运动指标,及行程指标。接下来完成对抽离出的系统的实物搭建。首先完成实际系统重要模块的元器件的选型,主要包括:驱动元件一一电机的选型,测量元件一一光栅尺的选型,还有本文主要   的重力补偿元件一一重力补偿气缸的选型,接下来对选定好的各软硬件进行初步的调试,进而完成本课题实验平台的搭建。较后,针对搭建好的平台设计初步的控制方案并进行实验探究,验证平台的可行性。并引出本平台存在的问题,即本课题需要   的,重力补偿气缸中存在的摩擦问题。本课题选用的重力补偿气缸,本身摩擦其实很小,但是考虑到平台的精度要求,对其进行补偿是很有   的。


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